Dry Etching Recipes: Difference between revisions
Jump to navigation
Jump to search
Content deleted Content added
No edit summary |
No edit summary |
||
| Line 1: | Line 1: | ||
{| border="1 |
{| border="1" style="border: 1px solid #D0E7FF; background-color:#ffffff; text-align:center; font-size: 95%" class="collapsible wikitable" |
||
|-bgcolor="#D0E7FF" |
|- bgcolor="#D0E7FF" |
||
! |
! width="725" height="45" colspan="10" | <div style="font-size: 150%;">Dry Etching Recipes</div> |
||
|- bgcolor="#D0E7FF" |
|- bgcolor="#D0E7FF" |
||
| <!-- INTENTIONALLY LEFT BLANK --> |
| <!-- INTENTIONALLY LEFT BLANK --> |
||
| Line 8: | Line 8: | ||
|- |
|- |
||
! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Material''' |
! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Material''' |
||
| [[RIE 1]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[RIE 1]] |
||
| [[RIE 2]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[RIE 2]] |
||
| [[RIE 3]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[RIE 3]] |
||
| [[RIE 5]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[RIE 5]] |
||
| [[Si Deep RIE]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[Si Deep RIE]] |
||
| [[ICP Etch 1]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[ICP Etch 1]] |
||
| [[ICP Etch 2]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[ICP Etch 2]] |
||
| [[UNAXIS VLR]] |
| bgcolor="#DAF1FF" | [[UNAXIS VLR]] |
||
|- |
|- |
||
! width="100" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Al |
! width="100" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Al |
||
| Line 387: | Line 387: | ||
| |
| |
||
|} |
|} |
||
=Recipes= |
= Recipes = |
||
| ⚫ | |||
| ⚫ | |||
| ⚫ | |||
| ⚫ | |||
Revision as of 17:34, 18 July 2012
Dry Etching Recipes
| |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| RIE Etching | ICP Etching | ||||||||
| Material | RIE 1 | RIE 2 | RIE 3 | RIE 5 | Si Deep RIE | ICP Etch 1 | ICP Etch 2 | UNAXIS VLR | |
| Al | |||||||||
| Ti | |||||||||
| Cr | |||||||||
| Ge | |||||||||
| Ag | |||||||||
| Ru | |||||||||
| Mo | |||||||||
| Ta | |||||||||
| W | |||||||||
| Al2O3 | |||||||||
| HfO2 | |||||||||
| ITo | |||||||||
| SiO2 | |||||||||
| SiN | |||||||||
| SiOxNy | |||||||||
| Ta2O5 | |||||||||
| TiO2 | |||||||||
| TiN | |||||||||
| ZnO2 | |||||||||
| ZrO2 | |||||||||
| GaAs | |||||||||
| AlGaAs | |||||||||
| InGaAlAs | |||||||||
| InGaAsP | |||||||||
| InP | |||||||||
| GaN | |||||||||
| AlGaN | |||||||||
| AlN | |||||||||
| GaN | |||||||||
| AlGaN | |||||||||
| AlN | |||||||||
| GaSb | |||||||||
| CdTe | |||||||||
| ZnSe | |||||||||
| Si | |||||||||
| SiC | |||||||||
| Sapphire | |||||||||