Vacuum Deposition Recipes
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Vacuum Deposition Recipes
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E-Beam Evaporation | Sputtering | Thermal Evaporation | Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) |
Atomic Layer Deposition | Ion-Beam Deposition (IBD) | Molecular Vapor Deposition | |||||||||||
Material | E-Beam 1 (Sharon) | E-Beam 2 (Custom) | E-Beam 3 (Temescal) | E-Beam 4 (CHA) | Sputter 1 (Custom) | Sputter 2 (SFI Endeavor) |
Sputter 3 | Sputter 4 | Sputter 5 (Lesker AXXIS) | Thermal 1 | Thermal 2 | PECVD 1 (PlasmaTherm 790) |
PECVD 2 (Advanced Vacuum) |
Unaxis VLR ICP-PECVD | |||
Ag | |||||||||||||||||
Al | |||||||||||||||||
Al2O3 | |||||||||||||||||
AlN | |||||||||||||||||
Au | |||||||||||||||||
B | |||||||||||||||||
Co | |||||||||||||||||
Cr | |||||||||||||||||
Cu | |||||||||||||||||
Fe | |||||||||||||||||
Ge | |||||||||||||||||
Hf | |||||||||||||||||
HfO2 | |||||||||||||||||
In | |||||||||||||||||
Ir | |||||||||||||||||
ITO | |||||||||||||||||
Mo | |||||||||||||||||
Bn | |||||||||||||||||
Ni | |||||||||||||||||
Pd | |||||||||||||||||
Pt | |||||||||||||||||
Ru | |||||||||||||||||
Si | |||||||||||||||||
SiN | |||||||||||||||||
SiO2 | |||||||||||||||||
SiOxNy | |||||||||||||||||
Sn | |||||||||||||||||
SrF2 | |||||||||||||||||
Ta | |||||||||||||||||
Ta2O5 | |||||||||||||||||
Ti | |||||||||||||||||
TiN | |||||||||||||||||
TiO2 | |||||||||||||||||
V | |||||||||||||||||
W | |||||||||||||||||
Zn | |||||||||||||||||
ZnO2 | |||||||||||||||||
Zr | |||||||||||||||||
ZrO2 |
Recipes
E-Beam Evaporation
Sputtering
Thermal Evaporation
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Ion-Beam Deposition (IBD)
==Molecular Vapor Deposition (MVD)