Thermal Evaporation Recipes: Difference between revisions
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=[[Thermal Evaporator 1]]= |
=[[Thermal Evaporator 1]]= |
||
== Materials Table == |
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{| border="1" style="border: 1px solid #D0E7FF; background-color:#ffffff; text-align:center; font-size: 95%" class="collapsible collapsed wikitable" |
|||
|- |
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! colspan=8 width=1300 height=35 bgcolor="#D0E7FF" align="center"|<div style="font-size: 150%;">Materials Table</div> |
|||
|- bgcolor="#D0E7FF" |
|||
! width="45" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Material''' |
|||
! width="45" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Symbol''' |
|||
! width="45" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Density, g/cm3''' |
|||
! width="45" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Z Ratio''' |
|||
! width="45" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Tooling, %''' |
|||
! width="45" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Current, Amp''' |
|||
! width="45" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Dep.rate, A/sec''' |
|||
! width="100" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Comments''' |
|||
|- |
|||
|Aluminum |
|||
|Al |
|||
|2.70 |
|||
|8.17 |
|||
|95 |
|||
|85 |
|||
|1 |
|||
|Used often |
|||
|- |
|||
|Chromium |
|||
|Cr |
|||
| 7.20 |
|||
| 28.95 |
|||
|95 |
|||
|85 |
|||
|2 |
|||
|Used often |
|||
|- |
|||
|Cobalt |
|||
|Co |
|||
|8.71 |
|||
|25.74 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Copper |
|||
|Cu |
|||
|8.93 |
|||
|20.21 |
|||
|100 |
|||
| |
|||
| |
|||
|Used often |
|||
|- |
|||
|Gold |
|||
|Au |
|||
|19.32 |
|||
|23.18 |
|||
|101.2 |
|||
|122 |
|||
|5 |
|||
|Used often |
|||
|- |
|||
|Gold/Palladium |
|||
|Au.5/Pd.5 |
|||
|15.86 |
|||
|23.96 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Gold/Palladium |
|||
|Au.5/Pd.4 |
|||
|16.40 |
|||
|23.80 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Gold/Zinc |
|||
|Au.95/Zn.05 |
|||
|18.72 |
|||
|22.89 |
|||
|101.2 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Gold/Zinc |
|||
|Au.90/Zn.10 |
|||
|18.07 |
|||
|22.58 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Magnezium |
|||
|Mg |
|||
|1.74 |
|||
|5.48 |
|||
|98.4 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Manganese |
|||
|Mn |
|||
|7.20 |
|||
|23.40 |
|||
|120 |
|||
|100 |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Nickel |
|||
|Ni |
|||
|8.90 |
|||
|26.68 |
|||
|100 |
|||
|50 |
|||
|4.5 |
|||
|Used often |
|||
|- |
|||
|Nichrome |
|||
|NiCr |
|||
|8.32 |
|||
|27.59 |
|||
| |
|||
|100 |
|||
|0.4 |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Palladium |
|||
|Pd |
|||
|12.40 |
|||
|24.73 |
|||
|140.5 |
|||
|62 |
|||
|1.5 |
|||
|Used often |
|||
|- |
|||
|Silicon Monoxide |
|||
|SiO |
|||
|2.13 |
|||
|10.19 |
|||
|120 |
|||
|70 |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Silver |
|||
|Ag |
|||
|10.5 |
|||
|16.69 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Zinc |
|||
|Zn |
|||
|7.14 |
|||
|17.18 |
|||
| |
|||
|50 |
|||
|4.5 |
|||
|Used often |
|||
|- |
|||
|Zinc Oxide |
|||
|ZnO |
|||
|5.61 |
|||
|15.88 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|StrontiumFluoride |
|||
|SrF<sub>2 |
|||
|4.28 |
|||
|12.15 |
|||
|200 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Iron |
|||
|Fe |
|||
|7.86 |
|||
|25.30 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|ITO(IndiumTinOxide) |
|||
|In<sub>2</sub>O<sub>3</sub> - SnO<sub>2</sub> |
|||
|6.43-7.14 |
|||
|0.841 |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
| |
|||
|- |
|||
|Permalloy |
|||
|Ni<sub>0.1</sub>Fe<sub>0.2 |
|||
|8.7 |
|||
|26.40 |
|||
| |
|||
|140 |
|||
|0.1 |
|||
| |
|||
|- |
|||